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BAG302离子真空计

INFICON  Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双灯丝传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口,提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计,使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程,并提供高价值、低拥有成本的选择。

特点

测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)

双标准长使用寿命氧化钇铱丝

一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口

带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程

用户可编程的设定点继电器

用户可编程的显示器单位:mbar、Torr 或 Pa

用户可选的发射电流自动设换范围

机械强度和坚固性

各种法兰的选择

易于更换的传感元件

合规和标准:CE、RoHS

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

技术规格

测量范围

1*10﹣9至5*10-2Torr/1.3*10-9至6.7*10-2mbar/1.3*10-7至6.7Pa

精度

10-8至5*10-2Torr ±15%读数

重复性

±5%读数

显示

OLED,3位数+1位指数,Torr,mbar,Pa单位可选

X-射线极限

5*10-10Torr

发射电流

100Μa,4mA或自由切换之间

除气

3W,EB

烘烤温度

200℃,仅规管

安装方式

任意

重量

270g

数字接口

RS485-ASCII协议

信号输出

线性模拟量0-9V

设定继电器

1个设定点继电器,1W,30A直流或交流无感电阻

电源

20-28Vdc,30W,防止反转保护和瞬态过电压。

灯丝

双氧化钇涂铱丝或双钨丝

电气接口

9 Pin D-Sub模拟和9Pin D-sub RS485

认证

符合CE标准

环境认证

符合RoHs标准

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