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BPG402-S皮拉尼电离复合真空计

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据,保证更换传感器时的高再现性。

特点

从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁

双长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预

传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性

符合 RoHS 标准

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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