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Flux Monitor

束流规

束流规是一种变体的裸离子计(Bayard-Alpert)。其独特的构造可以让电离计进一步进入真空室或工艺室,可以避免“壁效应排气”。这种现象在经常暴露在大气中的大室中尤其普遍,或与易于被吸附到室中的气体一起使用。壁效误差加起来可达2个数量级的压力误差。这个错误会对产品质量产生不利影响。长期应用在MBE的束流监测,工艺位置的真空度测量。

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